交通大學 ULSI製程整合技術 - 課程

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作者: suehung001 (suehung) 看板: Refresh
標題: [新竹] 交通大學 ULSI製程整合技術
時間: Wed Aug 7 16:19:04 2013

課程名稱 P102201 ULSI製程整合技術

開課時數 30小時

上課費用 一般價7,000元

特約廠商、3人以上團報6,000元 峡查詢特約商明錄 峡立即加入特約廠商
5人以上團報 5,000元

開課日期 102年8月25日至9月22日 每週日 09:00~16:50（敬備午餐，中午休息1.5小時）

開課地點 交通大學工程四館教室（教室地點於課前，以行前通知另行公佈）

地址：新竹市大學路1001號

招生對象 半導體產業暨相關系統業者之在職人士或有相關技術需求者

結訓規定 本課程應配合事項：簽到/簽退*1、課程測驗*2
*1：核發「結訓證書」依據為出席率8成以上（依據簽到退表資料）
*2：「課程測驗」評量分數60分以上，以是非或選擇題方式進行。

課程目標 幫助學員了解一般晶圓廠(FAB)之半導體和ULSI製程原理、CMOS元件製作、製程
整合技術、以及ULSI前瞻性半導體技術之未來發展趨勢；是一門循序漸進、概括全面性的
半導體ULSI製程整合技術介紹。學員亦可將此知識轉強於晶片製造、良率提升、以及晶片
量產品質提升。

課程大綱 1.半導體製程技術之演進
2.半導體材料與CMOS元件基本原理介紹
3.矽晶圓製程的介紹
4.加熱製程的介紹、
5電漿基礎原理的介紹
6.薄膜製程的介紹
7.微影製程的介紹
8.蝕刻製程的介紹、
9.離子植入製程的介紹
10.化學機械研磨的介紹
11.金屬化製程(鋁製程與銅製程)

授課師資 廖傑 博士
峡現職：國立聯合大學 電子系 兼任教授（現仍於半導體業服務中）
峡經歷：統寶光電公司竹南技術開發處/先進技術開發處處長、聯華電子公司全球行銷處/
中央研究發展部先期技術開發處經理、華邦電子公司/邏輯製程研發知識發展處副理
峡專長：半導體製程整合技術、ULSI前瞻性半導體技術
峡學歷：國立台灣大學 電機所 博士

課程網站
http://submic.ee.nctu.edu.tw/curriculum/curriculum.php?Sn=403

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