我做實驗要用到光罩,但是用了之後髒了,影響到後面曝光的圖形,用了幾種藥水都洗不乾淨,不是有光阻殘留就是有水痕,
請問:
1. 要如何把沾到光阻的光罩弄乾淨呢?
2. 業界是否有標準的清潔手法呢?
3. 哪些藥水比較合適呢?
請各位大大幫忙,明年要畢業就靠這個了
3Q
Update:
1.我泡過丙酮之後會有很多白色的小污點.要怎麼使用丙酮做清潔阿.
2.沒試過無水酒精,哪邊可以買的到呢?要用擦的還是噴的或是浸泡呢?
請問:
1. 要如何把沾到光阻的光罩弄乾淨呢?
2. 業界是否有標準的清潔手法呢?
3. 哪些藥水比較合適呢?
請各位大大幫忙,明年要畢業就靠這個了
3Q
Update:
1.我泡過丙酮之後會有很多白色的小污點.要怎麼使用丙酮做清潔阿.
2.沒試過無水酒精,哪邊可以買的到呢?要用擦的還是噴的或是浸泡呢?
All Comments
看你的敘述，感覺這片光罩可能沒救了！
要重新製作！
PS：業界沒幾個工程師敢拿藥水亂擦光罩！
2008-10-29 21:18:01 補充：
對了！
有試過無水酒精嗎？
2008-10-30 16:41:18 補充：
無水酒精你找半導體的物料供應商詢問
用擦的！
你是原先就用丙酮泡過嗎？
我覺得你的Mask應該是凶多吉少了！